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초고정밀 에어베어링, 스테이지, 부품, 모션시스템

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OAV 롤러 에어 베어링

OAV 에어 베어링은 더 높은 강성과 우수한 기하학적 성능을 가지고 있습니다. OAV 롤러 에어 베어링은 반대되는 박막 압력으로 수평 및 수직 표면 모두에 사전 하중을 가하여 궁극의 정밀도로 완벽한 간격을 유지합니다. OAV 에어 베어링 표면 설계는 전체 표면적에 걸쳐 공기와 예압을 균등하게 분배합니다. 그 결과 뛰어난 강성과 최대의 성능을 얻을 수 있습니다.

초정밀

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