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超高精度空氣軸承、平台、組件、運動系統

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OAV 滾子空氣軸承

OAV空氣軸承具有更高的剛度和優異的幾何性能。 OAV 滾子空氣軸承以相反的薄膜壓力預加載水平和垂直表面,從而以極高的精度保持完美的間隙。 OAV 空氣軸承表面設計在整個表面區域平均分配空氣和預載;結果是出色的剛度和最大化的性能。

超精密

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